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飞秒激光加工飞秒激光加工 上述流程需要在飞秒激光脉冲宽度范围内。飞秒脉冲加工新品质，源于非热能的消融效果。在飞秒的时间宽度内，材料融化过程类似于化学键的断裂，但没有融化。因为热量穿透深度，周围的融化区域几乎没有影响，这取决于脉冲持续时间低于10纳秒。由此得到优良的加工表面，获得良好的无毛刺切边。 关于热积累，烧蚀阈值影响必须考虑。由于材料特性值，并不是所有的激光脉冲能量都导致融化。光束焦点的周围区域和更深的材料层中，热影响没有达到阈值，导致剩余热量输入。由于阈值影响与脉冲宽度的平方根线性相关，飞秒脉冲热量输入远低于长脉冲或连续激光。通过调整光束偏差的策略，就算是高脉冲以十万赫兹的频率也可以保证区域内热量积累处于低水平，促进热敏感材料的处理。 此外，在飞秒范围内的非热能融化只需要低气压的辅助气体，所以气体流动不会改变细微结构。 切割实验结果 20至40μm厚度的铜片与钛片被用来证明切割20到100μm宽、长1至2厘米的缝。测试是用实验室中的10W的飞秒激光器(德国业纳的JenLas femto 10)加工，加上一个电流计扫描仪。当选定的部件是工业用料时，结果可以直接转移到工业应用结果。在单模和多模下直线切割，找到最佳烧融条件。切割质量取决于边缘的锐度或热变形。 |
