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微加工中的超短脉冲激光设备超短激光脉冲消除热影响 然而，对于某些应用，使用扫描振镜冷消融的加工方式得到的精度与锥角是不够的。锥角是在切割缝的边界时产生的，部分是因为激光能量密度（每单位面积的能量）在那里比较低，部分是因为材料在那里再沉积。对于这些应用，使用固定加工头、加工气体喷嘴和高精度轴是很有优势的。然而，轴的加速度和速度与扫描振镜相比是微不足道的。因此，激光引入的热量在固定加工头的应用中会比较多。即使是局部熔化材料也不能完全排除这种现象。尽管如此，可以依旧保持工件质量。与固体激光器和CO2 激光器的“热”激光切割相比，超短脉冲确保引入的热量在时间和空间上是可控的。因此，仍然不会对工件造成热影响。用固定加工头的USP激光微切割就如同微米范围的热加工。 |
