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光纤激光器应用于硅材料切割

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引言

  传统硅晶片的切割方法主要是金刚石锯,偶尔也使用划线折断工艺,这种方法只能切割直线,并且边缘具有较严重的裂痕,或者使用倍频的铁合金激光器,这种方法和微喷工艺,一样都操作昂贵,速度缓慢。最近SPI开发了一种光纤激光器切割工艺,该工艺能在较快的切割速度下,仍然具有极好的切割质量。

太阳能电池板

图1 太阳能电池板

  结果

  使用200W连续光纤激光器对200μm(0.008”)厚度的多晶硅进行切割时,切割速度可达10m/min,并且可得到高度平滑的切割边缘,没有任何裂缝的痕迹。可以做到和侧面平行、无任何边缘碎裂痕迹的40微米的切口宽度。甚至在1.2mm厚度(0.005”),切割速度也可超过1m/min。这个比现存的所有其他硅切割技术都要快。

  下表展现了光纤激光器切割硅的能力。

 

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